应选用气密性良好，且在温度和湿度等变化作用下变形小的材料。墙面内装修当附加构造骨架和保温层时。应采用非燃烧体或难燃烧体。

洁净室内墙壁和顶棚的表面，应符合平整、光滑、不起灰、避免眩光、便于除尘等要求；应减少凹凸面，阴阳角做成圆角。室内装修宜采用于操作；如为抹灰时，应采用高级抹灰标准。

洁净室的地面，应符合平整、耐磨、易除尘清洗、不易积聚静电、避免眩光、并有舒适感等要求。

厂房技术夹层的墙面、顶棚宜抹灰。如需在技术夹层内更换高效空气过滤器时，宜增刷涂料饰面。地面、回风地沟和位于地下的技术夹层，应采用防水或防潮、防霉措施。建筑风道和回风地沟的内表面装修标准，应与整个送、回风系统相适应，并应易于除尘。

洁净室和人员净化用室设置的外窗，应采用双层玻璃金属窗，并应有良好的气密性。

洁净室内的密闭门宜朝空气洁净度较高的房间开启。无窗洁净室的密闭门上宜设观察窗。洁净室门窗、墙壁、顶棚、地（楼）面的构造和施工缝隙，均应采取可靠的密封措施。洁净室内的色彩宜淡雅柔和。室内各表面材料的光反射系数，顶棚和墙面宜为0.6－0.8；地面宜为0.15—0.35。